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XP-703D（自动吸引式）半导体特气检漏仪

XP-703D（自动吸引式）半导体特气检漏仪

型号：XP-703D（自动吸引式）
半导体特气检漏仪

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特点：

¬ 最适合于检测半导体特气的微量泄漏。

¬ 采用声光报警。

规格

型号	XP-703D
检测对象气体	半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等）
检测原理	热线型半导体式
采样方式	自动吸引式
可检测浓度（单位：ppm）	砷烷磷烷乙硼烷硅烷氢气 AsH₃PH₃B₂H₆ SiH₄ H₂ 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
检测表示	蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
应答速度	10秒以内