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XD-303 （自动吸引式）半导体特气检测仪

XD-303 （自动吸引式）半导体特气检测仪

型号：XD-303 （自动吸引式）
半导体特气检测仪

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XD-303 特点：

采用定电位电解式传感器，对被测气体具有选择性。

高检测灵敏度。

能检测很多种类的半导体特气。

液晶数字显示。

XD-303规格

型　　号	XD-303AH	XD-303PH	XD-303BH	XD-303
检测对象气体	砷烷 (ASH3)	磷烷 (PH3)	乙硼烷 (B2H6)	其它
检测范围	1ppm 0～0.2ppm	0～1ppm 0～0.3ppm	0～1ppm	因规格而异
最小刻度	0.1ppm 0.01ppm	0.1ppm 0.01ppm	0.1ppm
采样方式	自动吸引式
应答速度	60%应答40秒