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[流量计]气体质量流量计D07-7B 质量流量控制器 指标 标准量程( N 2 ) 5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM 1,2,3,5,10 SLM 准确度 1.5% F.S. 线性 0.5~1.5% F.S. 重复精度 0.2% F.S. ( 典型值 Typical) 响应时间 气特性 1 ~ 4 sec 电特性 10 sec 工作压差范围 0.1~0.5 MPa...