在线型溶解臭氧监测仪OZ-96i

概要
监测半导体制造工艺中清洗、形成氧化膜等作业中所使用的臭氧水浓度。它是直接安装在主配管中、可以进行连续监测的臭氧水浓度监测仪。不需要用旁通管路来进行检测。本产品通过臭氧发生装置以及对使用点进行近似测量。

特点
可以安装在线内
可以选择3种配管直径
可以设定任意值的传送输出
可以切换小数点以下位数
零点稳定性
小巧的传感器尺寸
0.5Mpa的耐压性
远程零点校正功能
在接液部材质方面使用PFA/熔凝石英玻璃/PTFE