微管气体质量流量计

 应用领域
　　微管气体质量流量计可测量空气/氧气/氮气/氩气/二氧化碳气等清洁气体的流量，主要应用于半导体、电子、化工、医药、食品等产品制造过程中气体流量的检测及控制，医院氧气消耗量计量、实验室气体流量的检测等，口径最小至1mm，螺纹连接。
工作原理
　　MF5000微管气体质量流量计采用热质量气体流量传感芯片，属于质量流量传感方式的流量计，它是通过气体流动产生的热场变化来测量气体流量，由于不同质量的气体对热场的变化具有不同的影响，所以它所测的数据为质量流量。
　　不同于传统的“热传感器”方式采用了多个热传感器和多个热源来测量气体的质量流量（风速式热质量流量原理），MF5000微管气体质量流量计采用了多个热传感器和一个微热源（量热式热质量流量原理），大大减少了环境对测量的影响。MF5000微管气体质量流量计的热源十分微小，几乎不需要时间进行加热。传感器插入在相对大的流场中，在无气体流动时，传感器的热源对环境无影响，不会因此引起气体对流而导致零点变化。所以，MF5000微管气体质量流量计具有极短的响应时间和优良的零点稳定性。

产品特点
　　1、 采用微机电系统芯片作为传感器，流量计的灵敏度极高同时具有良好的零点稳定性；
　　2、 单个芯片上实现多传感器集成，使该流量计的量程比大于100：1；
　　3、 和传统的机械式流量计比较，压力损失大幅减小，极大的降低了能源消耗；
　　4、 采用LCD显示瞬时流量和累积流量，清晰直观，读数方便；
　　5、 本流量计带有RS-485通讯模块，配合上位计算机网络可实现集中管理；
　　6、 可以选配4-20mA DC电流信号输出；
　　7、 通过国家防爆认证，标志为ExiaIICT4。

技术指标

流量范围

备注：SCCM： 标毫升/分
　　　　　　SLPM： 标升/分
　　　　　　SCFM： 标立方英尺/分
　　　　　　NCMH： 标方/小时
　　　　　　标准状况（标况）：20℃，101.325kPa。