D07-19B质量流量控制器

特 点: ★高精度，快响应型 ★橡胶密封、模拟电路的MFC ★采用DB15型电插头，国际标准机械接头 ★国际兼容用 途: 质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精 密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、 石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

主要技术指标

型号   D07-19B
1 流量规格   ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM      ( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

2 准确度     ±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)
3 线性 ±(0.5~1) % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)
4 重复精度 ±0.2 % F.S.
5 响应时间 1 ~ 4 sec
6 工作压差范围
≤10SLM： 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid)
＞10SLM： 0.1~ 0.3 Mpa (14.5~43.5 psid)
7 耐压 3 MPa (435.1 psig)
8 工作环境温度5 ℃ ~ 45 ℃
9 输入输出信号
0 V ~ +5.00 V
(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)
10 电源
+15 V 50 mA
-15V 200 mA
11 外形尺寸 mm Swagelok：127×38×107 VCR：124×38×107
19 重量 kg 0.95

注意:
质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。
质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分);
SLM (标准升/分)
标准状态规定为: 温度 --- 273.15K ( 0℃ );
气压 — 101325 Pa (760mm Hg)
F.S. (Full Scale): 满量程值