测定原理

能量色散型X射线荧光分析法

测定对象

固体、液体、粉状

测量功能

单镀层、合金镀层、多镀层测厚、最多可测5层；

元素分析(材料成份分析)

镀液分析(电镀药水主盐成份分析)

测量极限

镀层厚度：0.02um，元素分析：100ppm

厚度测量范围

0.02-40 um，(W、Au、Pb)10μm、(Cu、Zn、Ni、Cr、Sn)40um，

厚度测量误差

第一层小于±5%，第二层小于±10%，第三层小于±15%

元素分析测量范围

可测元素K19-U92，

测试时间

测厚：10-60s，元素分析：10-60s

X射线发生部分

X光管产地及品牌

美国(OXFORD)

X射线管靶材

W靶、Rh、Mo、Ag、Cr靶材可选

X射线管窗口

铍窗

电气参数

50W、4-50kV，0-1000uA

冷确方式

硅脂冷却

X射线照射方式

↓X射线从上向下照

照射面积

最小的光斑φ0.1mm

使用寿命

15000-20000h

探测器

探测器产地及品牌

美国（LND）

制冷方式

电制冷(-1900C)

分辨率

Mn的半峰宽760eV

探测窗口

铍窗、窗口面积：400mm2

高压电源

高压包产地及品牌

美国(SPELLMAN)

输入电压

24VDC±10%、

输出电压

0-50kV、0-2.0mA，输出精度0.01%

备注

有自动软件侦测功能

光路系统

准直器系统

单一准直器φ0.1mm、

对焦系统

激光镭射对焦

滤光器

多种滤光器(Ni、Cu、Mo、Al、Ti)

样品观察系统

300万象素高清CCD摄像头，20倍光学变焦。

样品室

样品室内部空间（mm）

（宽×高×深）：450×160×400mm

样品台尺寸

（宽×深）：250×275mm

样品台承载重量

≤5kg

试验样品最大尺寸

宽×高×深：440×150×390mm。

样品台控制方式

手动样品台

工作台移动技术数据

X=200±5、Y=200±5、Z=160±5mm

数据处理系统

控制计算机

联想品牌机M7150，1G内存，160G硬盘

显示器

联想17寸LCD显示器

报告结果

Word、PDF格式

软件

操作系统：WindowsXP、OEM简体中文版

镀层测厚软件、元素分析软件

软件语言

简体中文、繁体中文、英文、其它

仪器包装参数

设备主体尺寸（mm）

宽×高×深：W580×H600×D715mm